上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,是我国最先进的高端硅基集成电路晶圆片材料SOI研发平台,也是中科院上海微系统与信息技术研究所所长王曦院士为之奋斗十多年的地方。
早在20世纪80年代初,中科院就已经开始SOI技术研究,但仅仅停留在论文上。眼看国际上SOI产业化应用技术突飞猛进,1998年,王曦毅然回国挑起了中科院SOI项目的“大梁”。
回国后,王曦成功地利用创新技术完成了SOI材料技术工程化研究,建立了生产线。经过漫长的艰苦跋涉、昼夜奋战,他带领团队终于生产出一个个光润无瑕、晶莹剔透的“三明治”圆片。
2001年,王曦带领SOI项目组骨干创建了上海新傲科技有限公司,从“科学家”转型为“企业家”。
2002年,中国第一批商业化生产的SOI圆片问世,这让美国硅谷惊呆了。
2006年,王曦负责的“高端硅基SOI材料研发和产业化”项目荣获国家科技进步奖一等奖,申请国家发明专利32项,已获授权16项。
王曦说:“作为一名科研人员,我们一定要紧紧围绕国家战略树立‘顶天立地’做科研的理念。‘顶天’就是要在基础研究方面与世界同步,‘立地’就是要在产品的产业化方面扎得深、做得好。” (据新华社电)