日前,在洛阳单晶硅集团有限责任公司生产线上,技术人员在洁净环境中加工生产集成电路级单晶硅抛光片。
该公司是目前国内最大的硅抛光片生产企业,主导产品为电路级硅单晶及硅抛光片。经过不断的科技创新,洛单集团共获得国家和省科技成果奖22项,其中自行研制成功国内第一批4英寸、5英寸、6英寸背封抛光片生产工艺等10多项技术,填补了国内半导体硅材料加工领域的空白。
记者 潘郁 特约通讯员 王思臣 摄