电子特气被称为芯片制造的“血液”。日前,位于吉利华阳产业集聚区的4600吨/年特种含氟电子气体建设项目,四氟化碳一期产品、三氟化氮一期产品、六氟化钨产品正在进行试生产。该项目由昊华气体有限公司承建,规划建设年产3000吨三氟化氮、年产1000吨四氟化碳、年产600吨六氟化钨,项目总投资9.13亿元。
4600吨/年特种含氟电子气体建设项目属于现代产业体系,是省重点项目。该项目立足具有自主知识产权的成熟技术,建成后,昊华气体洛阳基地可实现年销售收入12亿元、年利税2.3亿元。电子气体是我国液晶面板、太阳能及半导体行业的关键基础材料,对推动我国电子信息产业的国产化进程、减少进口依赖具有重要意义。
来争艳 文/图